中国科学院上海光学精密机械研究所

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光学元器件制造与检测平台
项目类型:检验检测
所属单位:中国科学院上海光学精密机械研究所
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上海市-嘉定区
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该平台拥有覆盖光学加工,镀膜及检测的多功能平台,拥有米量级光学元件的加工、镀膜及检测能力。该平台可为光学材料、元器件提供大口径、多规格、高精度的光学加工及机械加工服务,同时积极引入“互联网+”的管理理念,打破仪器设备的物理空间分割,形成数字化、信息化的材料加工与制备能力。该平台可为光学元件提供高性能的镀膜服务,顺利研制了各类高性能的大口径光学薄膜元件。该平台可为各种口径的光学元件提供优质的检测服务,攻克了大口径尺寸和高检测精度的巨大挑战,能够为国家重大战略任务保驾护航。如:大口径天文光学元件检测、大型激光装置建设所需元器件等提供高精度的加工、镀膜及高置信度的检测方法和检测数据。 </p><p>主要设备:</p><p>24吋激光平面干涉仪、24吋激光平面干涉仪(正交偏振)、24吋动态短相干激光平面干涉仪、24吋红外干涉仪、DynaFiz动态干涉仪、4吋633nm激光平面干涉仪、大口径应力双折射仪、大口径表面轮廓仪、光栅衍射效率平台、全内反射显微测量平台、大口径数字化表面疵病仪、激光散射表面疵病仪、Lambda1050分光光度计、激光自准直仪、高真空高性能热蒸发紫外镀膜机、离子束溅射镀膜机、真空镀膜机、高频磁控溅射设备、多层介质膜高速控制设备及一系列超精密光学加工设备。
联系人:
刘世杰
联系人地址:
上海市嘉定区清河路390号
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shijieliu@siom.ac.cn