中国科学院上海光学精密机械研究所

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薄膜性能参数表征平台
项目类型:检验检测
所属单位:中国科学院上海光学精密机械研究所
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上海市-嘉定区
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该平台拥有覆盖薄膜性能的相关检测手段,主要涉及薄膜光谱特性、薄膜损伤特性、薄膜吸收特性及缺陷等四大类。 主要设备:</p><p>1053紫外/可见分光光度计、大口径光学元件激光预处理平台、光学薄膜微弱吸收测量装置、总积分散射仪、椭圆偏振仪、白光干涉仪、高精度激光光度计。
联系人:
刘世杰
联系人地址:
上海市嘉定区清河路390号
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联系人邮箱:
shijieliu@siom.ac.cn